Евгений Гришковец - драматург, режиссёр, актёр, писатель и просто хороший человек

Турбомолекулярный вакуумный насос относится к вакуумным кинетическим насосам, конструкция которных аналогична конструкции турбины. В корпусе вращается турбинного типа многоступенчатый ротор с лопастными дисками. Между дисками расположены лопастные диски статора обратно обращенные аналогичной геометрической формы. С помощью шариковых подшипников установка роторов была бы затруднительной, так как для смазки нужно, чтобы подшипники размещались на форвакуумной стороне. Крепление ротора, при этом, с учетом его массы, подшипниками ограничивается лишь с одной стороны. Исходя из динамики, преимущества представляет опора с гибридным подшипником. В данном случае шариковый подшипник, смазанный маслом, с форвакуумной стороны устанавливается на конце вала, а высоковакуумная сторона снабжается намагниченным подшипником, который не изнашивается и не требует обслуживания.

Как работают подшипники?

Защитный безмасляный подшипник расположен в статоре магнитного. Шейка вала при нормальной работе вращается свободно внутри подшипника. Она при сильных радиальных ударах стабилизирует ротор, вращаясь, при этом, в течении небольшого времени. Подшипники при разбалансировке ротора вырабатывают на концах вала более низкую вибрацию, чем с подшипниками качения. В больших насосах применяются магнитные подшипники, а водокольцевые вакуумные насосы работают без них. В осевом направлении ротор поднимается с помощью электронного управления через электромагниты и дистанционные датчики, на каждом из концов в двух направлениях. Благодаря электронной компенсации и отсутствию контакта корпуса и ротора, производимая насосом вибрация сохраняется на низком уровне. Следующее преимущество, кроме отсутствия на форвакуумной стороне масла, - это не требующие обслуживания подшипники.

Как осуществляется аварийная поддержка питания?

При прекращении подачи электроэнергии подается электричество на магнитные подшипники за счет вращения насоса. Это позволяет обходиться без питания в течении нескольких минут. При более продолжительном сбое, благодаря встроенному подшипнику, обеспечивается нормальная остановка ротора при низкой скорости. При избыточном поступлении воздуха или неисправной электронике безопасное торможение обеспечивается защитными подшипниками. Для запуска роторов используются двигатели постоянного тока, которые обеспечивают достаточные для откачки газа скорости лопастей. Сейчас приводы крепятся непосредственно к насосам. Если насосы небольшие, питание приводов осуществляется от выпрямленного источника напряжения сети.
По материалам https://vacuum-rus.ru/.